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晶圓載物臺(tái)
2022.08.19
我們的晶圓載物臺(tái)程序可實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高精度運(yùn)動(dòng)控制。因此,它十分適用于質(zhì)量控制階段的晶圓對(duì)齊、定位和測(cè)試。精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng) MPC 保證了 1 - 5 nm 分辨率的高精度,以及 ≥50 nm/s 的緩慢勻速運(yùn)動(dòng)。專用伺服電機(jī)以及無(wú)鐵線性和扭矩馬達(dá)可提高動(dòng)態(tài)性能。高精度線性導(dǎo)軌可消除振動(dòng)。增加的氣動(dòng)子系統(tǒng)使自動(dòng)化包更加完整。高階運(yùn)動(dòng)曲線和樣條函數(shù)可產(chǎn)生更平滑的運(yùn)動(dòng)序列。