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晶圓處理
2022.08.19
博世力士樂(lè)為晶圓處理和晶圓加工解決方案經(jīng)過(guò)相應(yīng)設(shè)計(jì),能夠完美平衡高動(dòng)態(tài)伺服驅(qū)動(dòng)器、高剛性線性子系統(tǒng)和氣動(dòng)執(zhí)行器 – 具有高剛性,沒(méi)有超調(diào)量或間隙。這可以減少整個(gè)前端操作的空閑時(shí)間和標(biāo)準(zhǔn)化處理。此外,在運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中,通過(guò)預(yù)定義的算法來(lái)防止振動(dòng)。平滑的運(yùn)動(dòng)序列支持高階運(yùn)動(dòng)曲線和樣條函數(shù)。